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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

张腾蛟：共产党员关键时刻得站出来******

　　“平常时候看得出来、关键时刻站得出来、危难关头豁得出来！”沈阳鼓风机集团股份有限公司总装车间焊工、高级技师张腾蛟以此作为自己的行为准则。

　　张腾蛟主要从事鼓风机、透平压缩机工程管路焊接工作。从入厂第一天起，他就决心做最好的技术工人。他虚心向师傅们请教，时常下班后在车间自制的工装架上反复练习到深夜。在练习仰板手工电弧焊的过程中，雨点般的“焊豆子”烫漏工作服烫到肉里，身上的烫疤见证了他焊接技术的不断提高。在沈阳市举办的职业技能竞赛活动中，他连续两届获得焊工组冠军，并改进了有关操作手法。

　　“干就干好，追求更好。”张腾蛟参与了多台国产化首台套重点大型项目压缩机组的工程管路焊接工作。有的高压、厚壁不锈钢管里的介质不是有毒有害就是易燃易爆，还有的非常珍稀，焊接难度大、质量要求高。张腾蛟摸索总结出“熔池下沉法”等操作方法，将车间管路焊接合格率提高到95%以上。他创造了焊接管路X射线探伤一次合格无返修的纪录，到目前为止，他焊接的数百条管路没出现过质量事故。

　　多年来，张腾蛟不断创新，完成提案改善、技术革新和合理化建议213项，改进总结操作方法5项。其中仅回油管路改造工程一项，每年就为企业节省至少300万元资金。

　　张腾蛟常说，不能让“绝活”绝了，要让“绝活”活了。他把经验和技巧毫无保留地传给徒弟，他的8名徒弟中，高级技师5人、高级工程师1人。以张腾蛟为领创人的国家级劳模创新工作室以技能传授和技术攻关为主要目标，为提升员工技能和解决生产一线技术难题提供了有力支持。

　　今年上半年，沈阳发生新一轮疫情，张腾蛟响应集团“抗疫情，保生产”号召，主动要求留守在单位，进行4台份某海上平台压缩机组的抢制工作。工期紧张，机组台份多，管路结构复杂，工作量大。因为疫情，整个车间只有他一个焊工，每天焊接工作量是平时的4倍多。经过20天的昼夜奋战，他保质保量按时完成配焊工作，用行动让党徽在一线熠熠生辉。（辽宁日报记者 赵英明）

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）